技術評論社の『半導体シリーズ』に続けて、動画視聴で半導体の勉強を続けています。
３～４月に以下の参考書を読みました。
はじめての半導体プロセス
はじめての半導体ドライエッチング技術
はじめての半導体リソグラフィ技術
最後のリソグラフィは特にリソグラフィ技術（光学系）とレジスト技術（化学系）
の内容が深く、企業サイトなどを参考にして理解不足を補ってきました。
現在は翻訳の勉強をしながら空き時間を作って
『Chemical Processes for Micro- and nanofabrication』
という動画授業を視聴しています。
タイトルがChemical Processとなっていますが、内容は半導体プロセス全体に
関するものです。
また、講師のChris Mack教授は、リソグラフィが専門分野のようです。
光学分野中心に複雑な方程式が多く登場しますが、
それが何を意味するか、物理的にみるとどうなのか、
半導体プロセスの微細化の課題にどの様に影響するのかがていねいに
説明されおり、参考になります。
レクチャーは全部で72回（ボーナスレクチャー3回を含む）です。
第49回からのフォトレジスト編まで進みました。
授業の最後に毎回、今回学んだことについての簡単な質問があり、
すぐに、容易に答えられない場合は、過去の教材に戻って
復習して下さいと言われます。
毎回30分前後の授業なので、質問に答えられるように、集中して視聴しています。
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